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⊙ 真正研磨至納米級高端研磨機
⊙ 棒銷研磨腔設計
⊙ 批次、循環研磨，操作方便
⊙ 循環流量大，效率高
⊙ 分離系統采用了動態分離器，可以使用0.1mm氧化鋯珠
⊙ 研磨筒可為雙冷卻系統，效果好，也可強制冷卻
⊙ 進口雙端面機械密封，帶強制冷卻
⊙ 研磨細度好，粒徑分布窄，*小研磨細度在D97≤70nm