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MX-SSD Frame Handing激光改質(zhì)切割設(shè)備

MX-SSD Frame Handing激光改質(zhì)切割設(shè)備

直接聯(lián)系

蘇州邁為科技股份有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

蘇州邁為

型號(hào):

MX-SSD Frame Handing激光改質(zhì)切割設(shè)備

關(guān)注度:

717

產(chǎn)品介紹

該設(shè)備用于硅晶圓及碳化硅、氮化鎵等第三代半導(dǎo)體內(nèi)部改質(zhì)切割工藝,以其先進(jìn)的智能系統(tǒng)確保產(chǎn)品加工的品質(zhì)與效率。

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

  • 01

    配備高精度的晶圓表面高度追蹤及補(bǔ)償系統(tǒng),采用快速步進(jìn)移動(dòng)方式,加減速時(shí)間段X/Y軸同時(shí)配合,無(wú)需將速度降至0即可完成切割道更換,提升作業(yè)效率

  • 02

    配備光斑整型及補(bǔ)償功能,使用SLM技術(shù)進(jìn)行激光調(diào)制,通過(guò)相位補(bǔ)償,使激光更加聚焦,提升加工效率和品質(zhì)


基本信息

  • 1. 適用產(chǎn)品:4~12inch 硅晶圓及碳化硅、氮化鎵等第三代半導(dǎo)體

  • 2. 激光器:定制高精度、高穩(wěn)定性紅外激光器

  • 3. 切割速度:0-1000mm/s

  • 4. 加工方式:全自動(dòng)


產(chǎn)品咨詢

MX-SSD Frame Handing激光改質(zhì)切割設(shè)備

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