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化學(xué)機(jī)械拋光機(jī) TMP-200S

化學(xué)機(jī)械拋光機(jī) TMP-200S

直接聯(lián)系

北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

北京特思迪

型號：

化學(xué)機(jī)械拋光機(jī) TMP-200S

關(guān)注度：

1274

產(chǎn)品介紹

化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)

TMP-200S/300S

該系列設(shè)備是適用于薄膜（介質(zhì)層）的CMP拋光設(shè)備，包括氧化物、金屬、STI、SOI、MEMS等產(chǎn)品的平坦化拋光。采用多分區(qū)氣囊加壓方式，可實現(xiàn)納米級精密去除，配置半自動上下片系統(tǒng)，可根據(jù)需求選配摩擦力、電渦流、在線紅外檢測等EPD功能。


產(chǎn)品咨詢

化學(xué)機(jī)械拋光機(jī) TMP-200S

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