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純化學拋光設備CPI

CPI

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北京艾姆希半導體科技有限公司

北京

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型號：

CPI

關注度：

10

產品介紹

  • 適用于2寸、3寸、4寸、6寸、8寸等多種尺寸晶圓的純化學拋光

  • 夾具可選擇搭配不同重量的配重塊，適用于不同材料的拋光工藝需求

  • 拋光后粗糙度變化值ΔRa≤±2nm

  • 夾板、夾具、偏心距等可根據客戶需求訂制

  • 機身小巧，方便拆裝

  • 配備遠程操作系統

  • 幾乎為零的機械作用力實現無橘皮無劃痕效應

  • 采用先進防腐材料和結構設計，達整機超強防腐


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