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抽氣速率（L/S）Exhaust Rate

0.5

1

2

4

8

15

極限壓力≤（Pa）
Ultimate Pressure

氣鎮關
Gas Ballast Off

≤６×10-2

氣鎮開
Gas Ballast On

≤1.33

轉速（rpm）Rotational Speed

1440

電機功率（KW）Motor Power

0.18

0.25

0.37

0.55

1.1

2.2

進氣口直徑（mm）Inlet Diameter

φ15

φ15

φ25

φ25

40

40

溫升（℃）Temperature Rlse

≤90