三位置真空蝶閥

ISO-KF型式3位置真空蝶閥

ISO-F型式3位置真空蝶閥

Htc日揚真空三位置真空蝶閥由旋轉氣缸閥驅動，具有三位置功能，安裝方便，體積小，壽命長，產品出廠全部用氦質譜檢漏儀檢測。三位置真空蝶閥開度可設定為0-90°，主要應用是在高真空環境設備系統過程中完全隔離污染和腐蝕性氣體。 真空蝶閥位于真空泵和真空腔體處理室之間，可以控制設置第3位置以改變電導。

主應用

緊湊型隔離閥板，用于高傳導清潔過程。

有第三個位置來改變電導，一個蝶閥擁有兩個真空碟閥功能。

應用制程產業

• FPD 平面顯示器

• SEMI 半導體

• PVD 物理氣相沉積