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納米壓痕顯微鏡，納米壓痕-拉曼聯用系統

1、特殊設計的透明壓痕頭可當作顯微鏡的物鏡，實時觀看納米力學測試（壓痕和劃痕）期間壓頭下方發生的情況。

2、不需要像現在所有其他的納米壓痕儀一樣，在壓痕測試模塊和光學顯微鏡之間切換。

3、直接通過壓痕頭原位觀察，增加定位的可信度，確保樣品測試的位置一定是觀察的位置。

4、納米壓痕-拉曼光譜聯用系統，在儀器壓痕測試期間通過透明壓頭進行原位拉曼光譜測量。

上圖中，利用Ostec公司創新推出的一種全新的壓頭結構，在納米力學試驗之前、期間和之后對壓頭下方的情況進行光學觀察。

并且利用這種新的金剛石針尖結合拉曼光譜，在硅樣品的加載-卸載過程中獲得了原位拉曼光譜。