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掃描電鏡配備牛津儀器波譜儀，可以實現(xiàn)微量及痕量元素、嚴(yán)重重疊峰元素的準(zhǔn)確定量分析。牛津儀器AZtecWave系統(tǒng)結(jié)合了波譜儀解析X射線譜峰靈敏性、微量及痕量元素準(zhǔn)確性以及能譜儀檢測元素時的高速及高靈活性的優(yōu)勢。發(fā)揮波譜儀高X射線分辨率的特點，能夠在更低的檢測限下解析復(fù)雜的譜峰重疊。作為在高計數(shù)率下也可實現(xiàn)高準(zhǔn)確定量分析的EDS探測器，Ultim Max能譜儀與Wave波譜儀結(jié)合，是一款優(yōu)良的基于掃描電鏡（SEM）下的微區(qū)元素定性定量分析系統(tǒng)。

· 具有羅蘭圓幾何和彎曲晶體的全聚焦波譜儀；

· 羅蘭圓半徑210mm，具有優(yōu)異的能量分辨率；

· 傾斜式安裝，工作距離對X-Ray信號強度較小；

· 峰背比高，檢測限低于100ppm；

· 電動入射狹縫，可優(yōu)化分辨率和峰背比；

· 軟件導(dǎo)航式設(shè)計，初學(xué)者也可快速掌握WDS分析；