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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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上海華愛色譜分析技術有限公司

上海

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711

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四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化A級項目。

硅(SiHCl3)含量(體積分數)/l0-6 40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(體積分數)/l0-6 40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(體積分數)/l0-6 20050
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(μg/kg) ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg) ≤——0.3
鎵(Ga)含量/(μg/kg) ≤——0.5
銻(Sb)含量/(μg/kg) ≤——0.5
銦(In)含量/(μg/kg) ≤——0.5
鈣(Ca)含量/(μg/kg) ≤10.5
鉻(Cr)含量/(μg/kg) ≤10.5
鐵(Fe)含量/(μg/kg) ≤10.5
鉀(K)含量/(μg/kg) ≤10.5
鈉(Na)含量/(μg/kg) ≤10.5
鎳(Ni)含量/(μg/kg) ≤10.5
鉬(Mo)含量/(μg/kg) ≤10.5
錳(Mn) 含量/(μg/kg) ≤10.5
銅(Cu)含量/(μg/kg) ≤10.5
鎘(Cd) 含量/(μg/kg) ≤10.5
鈷(Co)含量/(μg/kg) ≤10.5
鋅(Zn)含量/(μg/kg) ≤10.5
釩(V)含量/(μg/kg) ≤10.5

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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

上海華愛色譜分析技術有限公司

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