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儀器特點：

◆ GOW-MAC 專用檢 測 技術，采用等 離 子發射光譜檢測器，可實現 10ppb 分辨 度。

◆可實現響應快速并快速恢復狀態。

◆超量程保護，干觸點報警輸出。

◆無閥無柱，無放射源，無需維護

◆可選多種量程模式。

◆可選模擬或數字信號傳輸模式。

技術指標：

●測量范圍： 0-2ppm 氦中氮 0-20ppm 氦中氮 0-200ppm 氦中氮

●準確度： 0-2ppm 量程 ±0.02ppm 0-20ppm 量程 ±0.25ppm 0-200ppm 量程 ±2.50ppm

●樣品氣流量： 2scfh(0.88slpm)

●樣氣連接： 樣氣入口 1/4″ VCR; 出口 1/4″ Swagelok

●零點氣： 無氮氦氣

●環境溫度： 60-95 ℉（16-35℃）

●**工作壓力：樣氣入口 10psig; 測量池 6psig

●樣氣入口壓力：2-7psig

●顯示： LED 數字顯示

●輸出 : 4-20 mA；干觸點用于超范圍保護及量程選擇指示

●檢測器類型 : 氦等離子體發射光譜

●靈敏度 : ±0.01ppm 氦中氮

●電源 : 100W 115/230VAC 50/60Hz

●尺寸 : 13.34 x 42.23 x 37.15cm ●重量 : 11.3kg

應用領域：

■低溫槽車裝載站

■特氣實驗室

■過程控制

■新生產線的證明

■氣體管理及監測系統

■槽車及氣瓶充裝質量控制

■焊接氣體管理

■半導體生產