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儀器簡介：

先鋒公司代理美國SRS公司的RGA100殘余氣體分析儀是一種可用于在線監(jiān)測的真空設備，主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度。其殘余氣體分析儀可以達到百萬量級的動態(tài)范圍，優(yōu)于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測極限，帶有分析軟件和RS232接口。優(yōu)異的性能，超高的性價比，完全滿足您真空方面的科研實驗。

技術參數(shù)：

RGA殘余氣體分析儀主要參數(shù)如下：

• 100， 200 and 300 amu systems

• Better than 1 amu resolution

• 6 decades of dynamic range

• 5 × 10−14 Torr detection limit

• RGA Windows & LabVIEW software

• Field-replaceable electron multiplier and filament

• RS-232 interface

主要特點：

在真空腔內RGA離子分化器將氣體分子電離，電離后的帶電粒子進入四極桿產生的偏轉電場內，由于不同的粒子質量數(shù)不一樣，在一定的電場作用下所形成的偏轉半徑就不一樣。相當于我們在四極桿上加特定的電場就會有特定質量數(shù)的離子打到探測器陽極上，探測器所產生的電流正比于氣體分子的濃度。進一步改變電場，就可以檢測到不同質量數(shù)離子的濃度。之后我們再做電場掃描，就可以計算出真空腔中所含氣體的成分。