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感應(yīng)氮化鋁

直接聯(lián)系

沈陽中科漢達(dá)科技有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

中科漢達(dá)

型號(hào)：

感應(yīng)氮化鋁

關(guān)注度：

525

產(chǎn)品介紹

感應(yīng)式PVT AlN生長(zhǎng)設(shè)備是自主研發(fā)的感應(yīng)式加熱爐，具有高穩(wěn)定性、高真空度和精確控制系統(tǒng)的AlN晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)，適用于商業(yè)化批量生長(zhǎng)大尺寸AlN晶體，可實(shí)現(xiàn)AlN晶體的同質(zhì)和異質(zhì)外延生長(zhǎng)。

技術(shù)參數(shù)
生長(zhǎng)工藝	PVT
產(chǎn)品類型	非標(biāo)定制
加熱方式	感應(yīng)加熱（中頻感應(yīng)加熱）
**溫度	2400℃
系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度	≤5Pa
控制方式	PLC集成控制
系統(tǒng)極限真空度	≤8×10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)
系統(tǒng)真空檢漏漏率	≤5.0×10-7 Pa.l/S
冷卻方式	循環(huán)水路系統(tǒng)
控壓范圍	20-80kpa

產(chǎn)品咨詢

感應(yīng)氮化鋁

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