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二氯二氫硅(SiH2Cl2)

二氯二氫硅(SiH2Cl2)

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艾佩科(上海)氣體有限公司

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艾佩科

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二氯二氫硅(SiH2Cl2)

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產品介紹

二氯二氫硅(SiH2Cl2)


化學式SiH2Cl2
中文名稱二氯二氫硅
英文名稱Dichlorosilane,DCS
CAS No.4109-96-0
分子量101.01
充裝量
應用半導體外延和化學氣相沉積工藝中的硅源氣體。有機硅化合物的生產。
產品規格≥99.95%


百科:

二氯二氫硅,常溫下呈液化氣體,25℃液體密度1.25kg/L,極易水解,在空氣中冒白煙,有鹽酸氣味,水分存在下有極強的腐蝕性。

在空氣中易燃,100℃以上能自燃,燃燒后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時會自行分解而生成鹽酸。氯氣、氫氣和不定性硅。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。與堿、乙醇、丙酮起反應。即使接觸少量鹵素或其他氧化劑也會發生激烈反應。

二氯硅烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此,人吸入后激烈刺激呼吸道,引起咳嗽、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚并導致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學灼傷。液態二氯硅烷也可引起冷灼傷。


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二氯二氫硅(SiH2Cl2)

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