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大氣直噴氬氧氫等離子活化設備

spa2600

直接聯(lián)系

東莞市晟鼎精密儀器有限公司

東莞長安

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

1-5萬元

品牌:

晟鼎

型號:

spa2600

關注度:

1159

產(chǎn)品介紹

半導體封裝等離子活化處理,提高半導體材料的產(chǎn)量和長期可靠性,達因特等離子體處理解決方案,晶圓級封裝和微機械組件解決先進的半導體封裝和組裝的獨特需求.

半導體封裝:

達因特有各種專為先進的半導體封裝和組裝的獨特需求,等離子體處理解決方案(ASPA),晶圓級封裝(WLP)和微機械(MEMS)組件。等離子活化處理的應用包括清洗、引線鍵合的改進,除渣,腫塊粘連,活化和蝕刻。

隨著封裝尺寸的減小和先進材料的使用增加,先進集成電路制造中的高可靠性和高成品率很難實現(xiàn)。通過適當?shù)牡入x子體處理,可以改善或克服許多制造挑戰(zhàn),包括改進模具連接、增加引線鍵強度、消除倒裝芯片底部填充空隙和減少封裝分層。

模具連接-等離子體清洗基片通過表面活化提高了芯片附著環(huán)氧樹脂的粘附性,從而改善了模具和基板之間的粘結(jié)。更好的債券改善散熱。此外,等離子處理去除金屬表面的氧化,以確保無空穴的模具附件。當共晶焊料用作粘接材料時,氧化會對模具附著產(chǎn)生不利影響。

絲鍵-氣體等離子技術(shù)可用于等離子清潔墊之前,引線鍵合,以提高粘結(jié)強度和產(chǎn)量。低粘結(jié)強度和低產(chǎn)量往往是由于上游污染源或先進包裝材料的選擇造成的。

底部填充前的等離子表面處理已被證明可以增加底部填充芯吸速度,增加圓角高度和均勻性,**限度地減少排尿,并改善底部填充的附著力。這些改進的機制包括表面能和表面化學成分的變化。

封裝和模塑-等離子體處理通過增加襯底表面能量來改善鑄模化合物的粘合力。改進的粘合增強了封裝的可靠性。

各種金屬器件,如加速度計、滾動傳感器和氣囊部署傳感器,在制造過程中需要先進的等離子活化處理,以提高器件的產(chǎn)量和長期可靠性。典型的應用包括裝置等離子體清洗,光刻膠去除光阻,如光致抗蝕劑和村料剝離(PCB),蝕刻分布線,并消除污染。其他應用包括表面清潔和粗化;提高可焊性化學鍵的活化;提高潤濕性和流動性在晶片表面。


產(chǎn)品咨詢

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