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PECVD石墨舟

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浙江華熔科技有限公司

浙江

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

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品牌：

浙江華熔

型號(hào)：

PECVD石墨舟

關(guān)注度：

856

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品描述

· 二次純化工藝，直接提高材料的純度，長(zhǎng)周期工況條件下，石墨舟各點(diǎn)電阻率仍保持優(yōu)異的均勻一致性，保證電流均勻，降低鍍膜色差，同時(shí)有效減緩石墨舟的氧化，提高壽命。

· 舟葉表面C-coating涂層工藝，舟頁(yè)表面平面度、光潔度更好，使舟頁(yè)和硅片之間接觸面積更大，飽和以后使用次數(shù)增加，舟使用壽命延長(zhǎng)。

· Balance加工工藝，**限度消除石墨舟片內(nèi)應(yīng)力，長(zhǎng)周期使用后不易變形，有效減少熱延展80%以上。

產(chǎn)品咨詢

PECVD石墨舟

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