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全自動晶圓倒角機MET-5800

全自動晶圓倒角機MET-5800

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江蘇晶工半導體設備有限公司

江蘇

產品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

江蘇晶工

型號：

全自動晶圓倒角機MET-5800

關注度：

641

產品介紹

產品規(guī)格


項目

參數

晶圓尺寸

12英寸（Notch）

晶圓厚度

250um-1000um

工位

雙工位

晶圓參考面形狀

R形、雙R形、T型、臺階狀等

設備尺寸和重量

L3300×W2200×H2200mm；3000kg

磨削X/Y/Z軸精度

X.Y.Z軸精度：±1um

陶瓷吸盤平面精度：±3um

吸盤軸徑向精度：±1um

砂輪軸徑向精度：±1um

砂輪外徑溝部

φ200mm

砂輪外徑

φ202mm

砂輪安裝內徑

φ30mm

砂輪厚度

20mm

砂輪轉速

4000r/min或8000r/min（根據客戶要求選擇）

Notch砂輪轉速

50000-160000r/min

校正機構

測量方式

非接觸式或機械測厚（根據客戶要求選擇）

分辨率

1μm

對中精度

20μm


產品咨詢

全自動晶圓倒角機MET-5800

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