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晶片產品參數

電學參數

UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：絕緣≥1×1010 Ω·cm

晶面：(100)

雙晶搖擺半高寬：≤150”

位錯密度：<1×105 cm-2

尺寸：10 mm×10.5 mm×0.5 mm

參考邊：長邊為[010]方向

加工指標

晶面偏差：<±0.5°；厚度: 0.5 mm±0.05 mm；表面拋光：單面拋光；表面粗糙度：拋光面 Ra<0.5 nm

產品外形示意圖