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TVS-40T

該設備用于在無油真空下存儲 TEM 支架。通過使用該設備可以大大減少污染物的附著。

由于它們存放在獨立的真空室中，因此可以單獨取出。TEM支架端口根據客戶的 TEM 支架制造,

關于 TEM 持有人

配備 4 個 TEM 支架端口。我們將創建一個與您的支架匹配的端口。可以對應TEM制造商的特殊支架由于獨立的排氣系統，更換支架時其他存儲支架不會暴露在大氣中。配備玻璃窗(NW40 法蘭)以查看每個支架樣品部件

可操作性

配備觸摸屏，操作方便。配備程序控制的自動排氣順序和聯鎖控制。

泵的維護時間顯示在屏幕上并通知。

關于選項

燈管加熱裝置

加熱方式:采用帶聚光凹鏡透鏡的鹵素燈加熱。

散熱方式:風扇風冷散熱。

溫度控制:熱電偶測溫PID控制，帶電子定時開關控制電源尺寸:535 Wx550 Dx185 H

等離子清洗裝置

電源:AC100V(單相100V)3A，使用地線三腳插頭清洗對象:電子東照射沉積的污染物的去除和附著氣體引入:針閥手動調節，電磁閥ON/OFF方式吹掃等離子氣體:兼容空氣、氬氣、氬氣/氧氣等安全措施:采用系統專用保險絲

等離子電源:頻率13.56 MHz，輸出0 ~50 W 可變輸出顯示數字儀表

等離子點火指示燈 等離子照射時間控制電子定時器定時器:0至1、2、3、12、30/sec、min、hr 各自由設定。電子定時器

等離子電源尺寸:250WX300DX135H重量 9Kg等離子槍尺寸:70mm中X220L等離子槍安裝 NW-40氣體:0.08 至 0.1 MPa，管道1/4"Swagelok(氣瓶和減壓閥由用戶)