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半自動單軸減薄機

半自動單軸減薄機

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蘇州辰軒光電科技有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

蘇州辰軒

型號:

半自動單軸減薄機

關注度:

731

產品介紹

設備概述

       人工手動將產品放置在承片工作臺上,通過承片工作臺和砂輪軸的相對旋轉,同時砂輪軸向下進給,對承片工作臺上的產品進行磨削加工,加工過程中使用在線厚度測量,控制產品厚度直至達到設定的目標厚度。

 

|  應用領域

       應用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化鎵(GaN)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等半導體材料的快速薄化,同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶,以及棱鏡等光學產品的加工。

 

|  設備特點
? 金剛石砂輪電主軸、砂輪升降系統
金剛石砂輪驅動采用高速、高精度電主軸,實現產品加工,并減少產品的破損率,達到理想的TTV。
砂輪升降系統由伺服電機、諧波減速機與絲桿滑軌控制,使砂輪精確移動到加工設定位置。

? 晶片測量系統
通過設定初始厚度以及加工程序,使減薄加工逐步運行,達到精確的加工厚度。
采用意大利進口測厚系統,實現實時監測產品厚度。

? 旋轉工作臺系統
高精密真空陶瓷吸盤載臺。
X向自動進出料工作臺移動裝置。

? 自動冷卻液供給系統
加工過程中自動供給冷卻液,將加工過程中砂輪和產品之間由于高速磨削產生的熱量迅速帶走。

 

|  可選配置
? 空氣主軸
? 砂輪在線修整功能
? 單片/多片加工方式
? 接觸式/非接觸式厚度測量


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半自動單軸減薄機

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