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產品介紹

前驅體源瓶用于固態、液態及氣態超純物料類的封裝，涉及微正壓、常壓、中低壓的危險化學品，對源瓶的安全性和潔凈度提出嚴苛的要求。

主要部件材料

閥體                      316L /316L（VIM+VAR）
瓶體                      316L

工作條件

工作壓力                0.8Mpa

內漏率                    ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

外漏率                    ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

工作溫度                0 ～ 150℃

內表面粗糙度          Ra ≤ 0.2μm

產品特點

超純物料類的封裝

涉及微正壓、常壓、中低壓