粉體行業在線展覽
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水平氧化擴散爐
直接聯系
青島華旗科技有限公司
山東
面議
華旗科技
水平氧化擴散爐
842
產品性能：
4~8寸晶圓工藝，每臺1~4/5管
恒溫區：800/1000/1250mm
溫度：200～1300℃/1350℃
全自動機械手裝卸，懸臂/軟著陸
晶圓自動倒片，完整的工廠MES系統對接，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準
配套工藝：
擴散：氣態/液態/固態源磷硼擴散
氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL）
氮、氫退火，燒結、合金等
