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一、 設備名稱、型號：MBF100-10型氣相沉積爐

二、 技術(shù)指標與基本配置

2.1 額定溫度：750℃；

2.2 **溫度：1000℃；

2.3 加熱區(qū)尺寸：770×770×300mm（W×D×H）；

2.4 有效尺寸：640×640×250mm（W×D×H）；

2.5 外腔體材質(zhì)：SUS310S；

2.6 內(nèi)膽材質(zhì)：熔融石英；

2.7 產(chǎn)品尺寸：Φ120；

2.8 設備產(chǎn)能：每爐可放置16片基板；

2.9 加熱功率：16kW；

2.10 加熱方式：底部+四側(cè)（五面加熱）；

2.11 控溫點數(shù)：底部+側(cè)面，共2點；

2.12 熱偶類型：K分度；

2.13 升溫速率：≤8℃/min；

2.14 加熱元件：FEC陶瓷纖維加熱器；

2.15 爐門開啟方式：頂開門設計；

2.16 控溫穩(wěn)定度：±1℃；

2.17 控溫儀表：進口溫控儀，具有PID自整定功能；

2.18 程序步數(shù)：20步；

2.19 報警保護：超溫、斷偶等聲光報警保護，并具有超溫報警斷電保護功能；

2.20 表面溫升：＜35℃；

2.21 設備重量：約500kg；

2.22 外形參考尺寸：1200×1200×1500mm（W×D×H），實際尺寸以*終產(chǎn)品為準；

2.23 設備外顏色：淺灰色。

三、設備正常運行條件

環(huán)境條件：溫度0～40℃，濕度≤80％RH，無腐蝕性氣體，無強烈氣流擾動；

地面要求：水平、無明顯震動，承重＞500Kg/m²；

動力條件：容量大于22kVA，3相5線，電壓220/380V，頻率50Hz。火線：黃色、綠色、紅色，零線：藍色，地線：黃綠色；

安裝場地：1500mm×1500mm×3000mm（D×W×H），安裝面積大于2.5m²。