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一、主要特點(diǎn)

此款設(shè)備由電動滑軌式管式爐、三路供氣系統(tǒng)、真空及過濾系統(tǒng)、前驅(qū)體鼓泡裝置，氣體預(yù)熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅(qū)體為非氣態(tài)源，如固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體，前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃，且溫度獨(dú)立可調(diào)，固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。

二、設(shè)備結(jié)構(gòu)

1.左右兩端進(jìn)氣抽氣可相互切換；提高基體上涂層的均勻性；

2.爐體底部在電機(jī)帶動下可在導(dǎo)軌上水平移動，移動速度根據(jù)工藝需要可設(shè)置。　　

3.采用觸摸屏和工控電腦自動控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持。

4.供氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗需求配置幾路質(zhì)量流量計，流量計的量程可選，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。

三、技術(shù)參數(shù)：