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CVD氣相沉積管式爐

CVD氣相沉積管式爐

直接聯系

鄭州博納熱窯爐有限公司

河南

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

博納熱

型號:

CVD氣相沉積管式爐

關注度:

3250

產品介紹

CVD管式爐,氣相沉積管式爐

本款CVD管式爐工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。我們的CVD管式爐采用了先進的溫度控制系統,高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學,研究中心和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。

高溫真空管式爐特點

  • **溫度:
    1200℃(HRE電阻絲加熱)
    1400℃ (硅碳棒加熱)
    1600℃ (硅鉬棒加熱)

  • 智能化51段可編程自動控制

  • 雙層風冷結構;爐殼表面溫度低于50℃

  • 304不銹鋼雙層密封法蘭

  • 兩端可調節法蘭支撐結構,延長爐管使用壽命

  • 超溫保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電

  • 安全保護當爐體漏電時自動斷電

  • 升溫速率≦20 ℃ /分

  • 控溫精度±1 ℃

  • **真空度-0.08MPa

  • 配置分子泵機組,真空度可達7×10^(-3)Pa

CVD管式爐配套設備

多路氣體控制柜

質量流量計配氣柜

 

真空管式爐技術規格

. 技術參數

**工作溫度1600℃ (<2小時)
溫度儀表● 人工智能PID儀表,自動控制溫度。雙向反并聯可控硅調壓,對電爐溫度進行精準控制,并具有限流功能。防止供電電壓不穩,電流突然過大引起跳閘,燒損電氣元件等。 (我公司采用的可控硅為國際優秀品牌:西門康
● 51段編程曲線,根據預置程序自動升溫、保溫、降溫。一鍵完成,無需工人值守。
● 內置控溫參數自整定功能。.
● 具有超溫報警,熱電偶斷裂報警,并自動切斷供電電源,提供可靠保護。
控溫精度±1℃
加熱速率0-20℃/分鐘
熱電偶B型(雙鉑銠) ,熱電偶保護管為純度 99.7%的剛玉管
加熱元件高純硅鉬棒
普通真空-0.08MPa
高真空7×10^(-3)Pa (分子泵)
配套設配氣體混合控制柜,質子流量計,浮子流量計
爐膛三層全纖維爐襯,構成整個爐膛
● **層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強度,又確保具有極好的隔熱效果。
● 第二層: 1430型多晶氧化鋁陶瓷纖維。
● 第三層: 保溫棉若干。
爐殼結構● 高強度碳鋼制作而成,酸洗磷化除銹后,靜電噴塑,美觀大方。
● 雙層風冷爐殼,內置2-4個散熱風機,確保爐殼表面溫度低于60℃.
產品保修1. 自驗收之日起,高溫箱式爐整機免費保修一年。如果設備出現問題,現場進行維修,終身提供技術支持!
2. 超出保修期后,成本價提供配件。

 

1200℃ CVD管式爐標準尺寸

型號爐膛尺寸
(直徑x加熱區長度)
功率**
溫度
熱電偶爐管加熱
元件
BR-12CNT-40/30040x300mm3 KW1200℃K型石英管電阻絲
BR-12CNT-60/30060x300mm3 KW
BR-12CNT-80/30080x300mm5 KW
BR-12CNT-100/300100x300mm5 KW
BR-12CNT-120/300120x300mm6 KW
BR-12CNT-40/45040x450mm3 KW
BR-12CNT-60/45060x450mm3 KW
BR-12CNT-80/45080x450mm5 KW
BR-12CNT-100/450100x450mm5 KW
BR-12CNT-120/450120x450mm6 KW

 

 

1400℃ CVD管式爐標準尺寸

型號爐膛尺寸
(直徑x加熱區長度)
功率**
溫度
熱電偶爐管加熱
元件
BR-14CST-40/30040x300mm4 KW1400℃S型氧化鋁管硅碳棒
BR-14CST-60/30060x300mm4 KW
BR-14CST-80/30080x300mm4 KW
BR-14CST-100/300100x300mm6 KW
BR-14CST-120/300120x300mm6 KW
BR-14CST-40/45040x450mm4 KW
BR-14CST-60/45060x450mm4 KW
BR-14CST-80/45080x450mm4 KW
BR-14CST-100/450100x450mm6 KW
BR-14CST-120/450120x450mm6 KW

 

1600℃ CVD管式爐標準尺寸

型號爐膛尺寸
(直徑x加熱區長度)
功率**
溫度
熱電偶爐管加熱
元件
BR-16CMT-40/30040x300mm4 KW1600℃B型氧化鋁管硅鉬棒
BR-16CMT-60/30060x300mm4 KW
BR-16CMT-80/30080x300mm4 KW
BR-16CMT-100/300100x300mm6 KW
BR-16CMT-120/300120x300mm6 KW
BR-16CMT-40/45040x450mm5 KW
BR-16CMT-60/45060x450mm5 KW
BR-16CMT-80/45080x450mm5 KW
BR-16CMT-100/450100x450mm7 KW
BR-16CMT-120/450120x450mm7 KW


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CVD氣相沉積管式爐

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