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一、設備組成

此款定制智能型連續(xù)進出料CVD設備包含主要由七大部分，進料腔，大口徑管式爐、出料腔、推拉機構、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、以及自動化控制軟件組成。

1、進料腔：

進料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封；進料腔左側(cè)法蘭上配有一個φ16mm的推料桿，可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下推送載具進入高溫爐內(nèi)；進料腔右側(cè)法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實現(xiàn)進料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。

2、高溫生長爐：

大口徑管式爐采用優(yōu)質(zhì)電阻絲加熱，**使用溫度可達1100℃，加熱區(qū)長度為300+300+300mm，采用3段控溫且每段上下兩點控溫的方式，可有效提高溫差均勻性；同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

3、出料腔：

出料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封，出料腔右側(cè)法蘭上配有一個φ16mm的拉料桿，可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下從高溫爐內(nèi)將載具拉入出料腔內(nèi)降溫冷卻；出料腔左側(cè)法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實現(xiàn)出料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。

4、推拉機構：

進料腔左側(cè)密封法蘭上配有推料桿及軌道；出料腔右側(cè)密封法蘭上配有拉料桿及軌道；可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下將載具推送進高溫爐或?qū)⑤d具拉離高溫爐。

5、供氣系統(tǒng)：

供氣系統(tǒng)包含3部分，進料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置，高溫生長爐配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體混氣裝置，出料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置；共計5路質(zhì)量流量計。

6、真空系統(tǒng)：

進料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m³/h、型號DRV-16），高溫生長爐1套機械泵（機械泵抽速24m³/h、型號DRV-24），出料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m³/h、型號DRV-16），以及真空計、手動擋板閥、波紋管等連接件共計3套。

7、觸摸屏控制系統(tǒng)：

采用觸摸屏自動控制，參數(shù)設置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持，一鍵操作。

二、技術參數(shù)