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一、產品特色

這是一款定制可開啟式CVD設備。該設備主要開啟式加熱爐、氣路系統、反應管、智能控制系統。

1、開啟式加熱爐：

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶，單點控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管

2、氣路系統可精確控制3路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨1路可通強腐蝕氣體，配備吹掃氣路。

氣路管路及閥門，精工件都采用316L材質。

3、反應管組件

反應管組件使用耐高溫剛玉管，內加剛玉管堵，兩端密封法蘭帶水冷卻系統，反應管尾部帶反應物收集冷卻裝置。實驗眾產生的尾氣經過冷卻收集后再通過球閥排出。

4、氣體報警系統

配備有氫氣報警器，氯氣報警器、甲烷報警器。分別設置1個檢測點，報警后自動切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應，并發出警報。

5、 智能控制系統          

采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。

二、技術參數