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一、設(shè)備組成

該設(shè)備主要由開啟式加熱爐、不可開啟加熱爐、氣路系統(tǒng)、反應(yīng)管組件、真空系統(tǒng)組成。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，單點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管，加熱爐膛底部帶石英防護(hù)罩防止加熱絲短路。

 2、不開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，單點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可整體拆裝方便后期維護(hù)，

3、氣路系統(tǒng)

6通道供氣管路，可根據(jù)需要分別控制各個通道的進(jìn)氣量。

 4、反應(yīng)管組件

左端為卡箍式法蘭組件，方便進(jìn)行取放料作業(yè)。右端帶電動插板閥，可自動開啟關(guān)閉。

 5、真空系統(tǒng)

可對一路或者多路反應(yīng)管進(jìn)行抽真空作業(yè)，同時(shí)也可以做到單獨(dú)破空作業(yè)。

二、技術(shù)參數(shù)