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小型三溫區(qū)PECVD設(shè)備

BTF-1200C-III-S-PECVD

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽合肥

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

貝意克

型號(hào)：

BTF-1200C-III-S-PECVD

關(guān)注度：

1589

產(chǎn)品介紹

這是一款定制組合式PECVD設(shè)備。該設(shè)備主要由加熱爐、射頻組件、氣路柜組成。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，3點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。

2、射頻組件

500W射頻機(jī)組，可以使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效。

3、氣路柜組件

可控制多種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭組成，外形美觀，操作簡(jiǎn)便，數(shù)據(jù)直觀可讀。

加熱總功率	≤7KW
額定電壓	220V
**溫度	1200℃
工作溫度	≦1100℃
升溫速率	≦10℃/min
加熱元件	電阻絲
加熱區(qū)長(zhǎng)度	200+200+200mm
熱電偶	K型熱電偶
控溫方式	模糊PID控制和自動(dòng)整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能
控溫精度	±1℃
設(shè)備尺寸	2700x600x1250mm
設(shè)備重量	約180KG

產(chǎn)品咨詢

小型三溫區(qū)PECVD設(shè)備

BTF-1200C-III-S-PECVD

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