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全自動(dòng)氣氛退火管式爐擁有自動(dòng)送料、自動(dòng)鎖緊法蘭密封功能，材料載具采用碳化硅—一種耐高壓、耐高溫、抗輻照優(yōu)良半導(dǎo)體材料，當(dāng)材料放入載具后可通過電動(dòng)滑塊模組送入石英管腔體內(nèi)，此時(shí)法蘭周邊的回轉(zhuǎn)氣缸自動(dòng)鎖緊。加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，采用智能PID控制，30段可編程程序，可曲線升溫并設(shè)定溫度速率，恒溫時(shí)間控制，自動(dòng)停機(jī)等，具有超溫報(bào)警、漏電保護(hù)、過溫保護(hù)等功能。此設(shè)備還配備了觸摸屏，實(shí)現(xiàn)物料從送料-法蘭密封-抽真空-升溫?zé)Y(jié)-退火集成一體智能化控制。另外，此設(shè)備右邊送料區(qū)域背板裝置了空氣過濾器，達(dá)到一定的凈化空氣的作用，使材料出腔體時(shí)不受空氣中粉塵雜質(zhì)的影響。

額定加熱功率：18*2KW

額定功率：42KW

額定電壓：AC380V  50/60HZ

**溫度：800℃

工作溫度：≤600℃

推薦升溫速率：5℃/min

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度：±1℃

送料方式：電動(dòng)送料

氮?dú)?*流量：150L/min*2

氫氣**流量：60L/min*2

點(diǎn)火裝置：電阻絲

加熱元件：首鋼HRE電阻絲

整機(jī)尺寸：4000（L）×1050（W）×2400（H）mm

設(shè)備凈重：1900KG

備選件： 真空：≤10pa，潔凈度：≤100@0.3um，氧含量：≤20ppm