粉體行業(yè)在線展覽
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HPSF-4412
直接聯(lián)系
湖南頂立科技股份有限公司
湖南
面議
頂立科技
HPSF-4412
16503
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氮化硅壓力燒結(jié)爐（臥式）
產(chǎn)品描述：
氮化硅壓力燒結(jié)爐（臥式）主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域氮化硅陶瓷制品的真空燒結(jié)和氣壓燒結(jié)等。
應(yīng)用范圍：
氮化硅陶瓷球、軸承、導(dǎo)熱基板、平臺(tái)、導(dǎo)軌、刀具、結(jié)構(gòu)件等。
采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；
全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
可具備真空燒結(jié)、壓力燒結(jié)、負(fù)壓脫脂燒結(jié)等功能；
具有超溫超壓等故障報(bào)警，機(jī)械式自動(dòng)壓力保護(hù)，動(dòng)作互鎖等功能，設(shè)備安全性高；
可選配脫脂系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理；
適于工藝氣氛：N2/Ar/H2。
| 型號(hào)/參數(shù) | HPSF-4412 | HPSF-5518 | HPSF-6615 | HPSF-6618 | HPSF-9915 |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 400×400×1200 | 500×500×1200 | 500×500×1800 | 600×600×1800 | 900×900×1500 |
| **溫度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| **壓力（MPa） | 10 | ＜10 | ＜10 | ＜10 | ＜10 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼/Q345
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)（鎢套管/陶瓷套管）
HVSF
HPSF-4412
HCVD-060609-C
VVP-0608
HVG-060609
HVP
VVC-0608
HVC-060609
VCVD-0608-SIC
HCVD-060609-SIC
VCVD-1822-C
VVA-1010S
