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超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備，工藝時(shí)間短，生產(chǎn)效率高，具有出色的工藝性能達(dá)到**。

應(yīng)用領(lǐng)域

◎ VLSI集成電路制造

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

◎晶片(片/批次)150片

◎ 晶片高速搬送系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高吞吐量

◎ 精密的熱場(chǎng)控制，氣體控制系統(tǒng)

◎ 工藝周期短，生產(chǎn)效率高

外形尺寸及重量

◎ 外形尺寸(參考):4330mm*900mm*3305 mm(長(zhǎng)*寬*高)

◎ 重量:2500Kg