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VUP-100TG/200TG/300TG 氣體終端面板

直接聯(lián)系

上海皓固機(jī)械工業(yè)有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

皓固機(jī)械

型號(hào)：

VUP-100TG/200TG/300TG 氣體終端面板

關(guān)注度：

1260

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 超高純度氣體終端適用于所有氣體輸送系統(tǒng)

100TG:≤30 slpm （1/4 " VFS）

200TG:≤300 slpm （3/8”VFS）

300TG:≤600slpm （1/2 " VFS）

? 控制精度高

? 所有連接端口使用焊接或VFS接頭

? 手動(dòng)或氣動(dòng)隔膜閥選擇

? 100%氦泄漏測(cè)試

技術(shù)參數(shù)

? 進(jìn)氣壓力P1: 300 psig

? 出氣壓力P2: 30/60/100/150 psig

隔膜閥材質(zhì)

? 母體: 316L

? 閥座: PCTFE

? 膜片: Elgiloy?

監(jiān)管機(jī)構(gòu)材質(zhì)

? 母體: 316L / 316L secondary remelt

? 閥座: PCTFE

? 膜片: Hastelloy? C276

? 泄漏率: (外部) 1x10^-9 mbar I/s He

(內(nèi)部) 1x10^-8 mbar I/s He

產(chǎn)品咨詢

VUP-100TG/200TG/300TG 氣體終端面板

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