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本系統(tǒng)應(yīng)用于光學(xué)元件表面散射率的測量，主要針對大尺寸光學(xué)元件。

指數(shù)指標(biāo)

• 散射率檢測精度 0.1%
• 升降機(jī)構(gòu)重復(fù)定位精度：0.02mm
• 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)重復(fù)定位精度：<0.05°
• 傾斜機(jī)構(gòu)調(diào)整角度：±7.5 °
• 平移機(jī)構(gòu)：分辨率1um
• 工作頻率（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：1000Hz
• 動態(tài)范圍（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：80dB
• 品質(zhì)因數(shù)（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：Q>50
• A/D（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：16bit