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稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；

源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；

2路校準口入口和1路吹掃口；

1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口

稀釋入口：1路標準；

源氣入口：1路標準，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；

源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；

流量精度：≤1%FS；

流量重復：≤±0.15%FS；

線性：≤±0.5%FS；

響應時間：<1分鐘；

操作：按鍵，鍵盤，串口，USB，以太網；

校準定義：20個工廠配置流路，每個流路可**20個線性點；

校準類型：稀釋氣，臭氧，GPT；

儀器特點：

操作簡單，方便；

溫度顯示穩定，可靠；

壓力可調，面板帶壓力表；

可方便地放入滲透管。

性能參數

溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統；

溫度傳感器：RTD;

前面板安裝：調壓器，壓力表，溫控器，稀釋爐入口

特氟龍爐身尺寸：內徑3.09cm，長度12.7cm，

溫控范圍：高于環境溫度2℃到65℃，