PC/PCO系列—二氧化碳純化器

應用領域：

• 純化用于半導體應用的二氧化碳

工藝介紹：

PC系列采用HPC特有純化材料，通過吸附工序，深度脫除氣體中的。上表中雜質O2、H2O、H2、CO、揮發性酸VA、揮發性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機物Corg、不凝有機物Ncorg等雜質。多個吸附器交替吸附、再生，實現對原料氣體的連續純化。

PC系列獨立氣體純化系統通過現場原位再生和先進的技術，以高可靠性、低成本及高性能，有效的脫除CO2中的污染雜質，滿足客戶現場需求.

• PCO系列氣體首先通過高溫催化氧化工序，將氣體中的CH4、還原性雜質與O2反應轉化為H2O和CO2；

• 氣體通過多柱吸附工序深度脫除氣體中的CH4、O2、H2O、H2、CO、揮發性酸VA、揮發性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機物Corg、不凝有機物Ncorg等雜質；

• 吸附柱飽和后可通還原性氣體加熱再生，反復使用；

• 多柱交替吸附、再生，可實現對氣體的連續純化。