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YRTP快速退火爐

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上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司)

上海

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面議

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582

產(chǎn)品介紹

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YRTP快速退火爐是一款多功能的真空氣氛燒結(jié)爐,既可以用于材料的快速升降溫退火,也可用于化學(xué)氣相沉積(CVD)法,在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備,稍加調(diào)整,一機(jī)多用,被廣泛的應(yīng)用各研究院所。

加熱系統(tǒng)采用環(huán)形紅外短波加熱器,*快升溫速率可達(dá)300℃/S,測(cè)溫采用精準(zhǔn)的S型貴金屬熱電偶直接測(cè)量式樣表面,使加熱工件(式樣)的溫區(qū)更加均勻準(zhǔn)確,控制界面采用大尺寸觸摸屏,傻瓜智能式操作,可預(yù)設(shè)置十條溫度曲線。控制數(shù)學(xué)模型采用先進(jìn)的PID自學(xué)習(xí)模糊雙閉環(huán)控制模式,使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃,經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期多次的各種試樣試驗(yàn)驗(yàn)證,已被應(yīng)用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,廣泛滿足離子注入后的快速退火,歐姆接觸快速合金,硅化物合金退火,氧化物生長(zhǎng),銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積及其它快速熱處理工藝的要求。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

YRTP-1100

爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu),高精度移動(dòng)平臺(tái)

額定溫度(℃)

1100

使用溫度(℃)

≤1000

溫場(chǎng)均勻性(℃)

±3℃

溫度狀態(tài)工藝時(shí)間(S)

2~100(100~1000℃)

*快升溫速(℃/S)

200

降溫速率(℃/S)

1~200(通氮?dú)猓俾矢欤?/span>

溫度控制模式

智能模糊全閉環(huán)PID控制

操作方式

觸摸屏控制

超高溫狀態(tài)檢測(cè)

軟件檢測(cè)出溫度信息出現(xiàn)高溫異常時(shí),切斷主回路

觸摸屏尺寸

7"LED

**功率(kW)

15

額定電壓

AC380~400V,50HZ(60Hz定制)

傳感器類型

S型單鉑銠

反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸

Φ100X200

式樣有效空間

4"

真空系統(tǒng)

選配

預(yù)留真空抽口

KF16

進(jìn)出氣接口

Φ6卡套

尺寸重量

長(zhǎng)1000×深600×高600mm;凈重:約50kg

可根據(jù)客戶要求定制!

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YRTP快速退火爐

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YRTP快速退火爐 - 582
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