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1700CVD系統

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上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設備有限公司)

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產品介紹

簡介

YG-1706I-CVD系統由YG-1706管式爐、三路浮子混氣系統、內置測溫系統及真空系統等組成。真空泵采用雙極旋片真空泵,真空度可達到5x10-1Torr;內置測溫系統可實時監測反應管內的溫度變化。適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。同時煜志良好的售后服務,使得該產品的整體評價遠超同行業標準。

主要技術參數

YG-1706

真空管式爐

雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫;

日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

加熱元件采用進口優質U型硅鉬棒,表面負荷高,大大提高了其使用壽命

電壓

AC220V 50Hz/60Hz;功率:6kW

爐管

采用99氧化鋁剛玉管,致密度高,經久耐用,不易斷裂

尺寸:Φ40/60/80*1000mm

4個氧化鋁管堵

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等

加熱系統

加熱元件:6根U型硅鉬棒

加熱區長度:280mm

恒溫區長度:100mm

工作溫度:≤1600℃

**溫度:1650℃

升溫速率:≤10℃/min

溫控系統

溫度控制采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能

50段升降溫程序

測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶

恒溫精度:±1

三路浮子

混氣系統

三路浮子流量計配置在移動工作臺上,可以同時通入三路不同的氣體 ;

內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥;

管路采用聚四氟乙烯軟管,耐溫耐腐;

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥;

流量規格:0.3-3L/min;

控制精度:±5%.

低真空系統

采用雙極旋片真空泵,真空度可達5x10-1 Torr

不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性

內置測溫系統

測溫元件可從加熱區邊緣延伸至溫區中心

法蘭密封,保證爐管的密封性

測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶

尺寸

高溫爐:660*580*910mm

混氣移動工作臺:800*540*720mm

可選配件

HQZ混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉坩堝,剛玉管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環機等。

可根據客戶要求定制!

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