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溫控晶圓夾盤HCC302夾盤美國Instec

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上海恒商精密儀器有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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569

產(chǎn)品介紹

Instec

來自液晶先驅(qū)院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置與液晶檢測(cè)設(shè)備

功能特點(diǎn)

可編程精密控溫。可獨(dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制

超低的盤面溫度梯度

軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語言的SDK

#升級(jí)項(xiàng)# 性能可升級(jí)，詳見配置列表

#選擇項(xiàng)#是否帶有上蓋。上蓋功能如下：

可變樣品腔高度

可拆卸的觀察窗

用于負(fù)溫時(shí)的除霜設(shè)計(jì)

向腔室內(nèi)充入氣氛

可做改動(dòng)或定制，詳詢上海恒商

技術(shù)參數(shù)

溫控性能	溫度范圍	-120℃ ～ 310℃ 負(fù)溫需使用液氮制冷可提升溫度上限
	溫度分辨率	0.001℃
	溫度穩(wěn)定性	±0.05℃(at 100℃) 可提升穩(wěn)定性
	溫度均勻度	±0.1℃/cm可升級(jí)均勻性
	*小控溫速度	±0.1℃/小時(shí)
	**加熱速度	+50℃/分鐘(at 100℃)
	**制冷速度	-50℃/分鐘(at 100℃)
	溫度傳感器	100Ω鉑質(zhì)RTD
	溫控方式	開關(guān)式PID 可升級(jí)為LVDC式PID
尺寸	樣品腔面積	48 mm x 60 mm
尺寸	樣品觀察范圍	26.5 mm(使用外蓋)
*注：液氮泵型號(hào)不同，制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異，請(qǐng)悉知

配置列表

標(biāo) 準(zhǔn)	HCC302 溫控晶圓夾盤	√
標(biāo) 準(zhǔn)	mK2000溫度控制器軟件免費(fèi)，控制線有多種接口供選	√
升級(jí)	**溫度從 300℃ 升級(jí)為更高
選配件	上蓋
	液氮制冷系統(tǒng) 包含液氮泵與液氮罐，使樣品降至負(fù)溫
	外殼水冷配件用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過熱
	固定支架把夾盤固定在使用平臺(tái)上，防止滑動(dòng)
	溫控聯(lián)動(dòng)顯微鏡相機(jī) 溫度-圖像聯(lián)動(dòng)工作，附軟件
	線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里，抑制電噪音
*注：產(chǎn)品有多種配置變化，詳詢上海恒商

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