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北京燕京電子有限公司
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Femto Science 等離子清洗機 表面處理設備 CUTE
圖片
簡介
CUTE系列等離子清洗機來自韓國FemtoScience公司，是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統，其獨特的設計保證了高度穩定和均勻輝光放電等離子體產生，可應用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學以及微電子領域，適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強、層間粘附、刻蝕等操作，標配一路自動氣體流量計，可實現對工藝氣體的準確控制。
CUTE系列等離子清洗機，其艙體采用鋁合金制作，堅固耐用且抗腐蝕，其艙體自帶顯示屏，配合顯示屏下方的操作按鈕，使用簡單，方便快捷。
規格參數
項目 | 參數 |
艙體材質 | 鋁合金 |
艙體內部尺寸 | 140mm x 200mm x 110mm |
電源頻率 | 20~100kHz |
電源功率 | zui大100W 可自由調節 |
標準氣體輸入 | 1 x 氣路 |
額外氣體輸入 | 2 x 空管道可供升級 |
氣體流速控制 | MFC自動控制 |
zui大流速 | 100sccm |
氣體流速控制精度 | 滿量程的1% |
真空泵抽氣速率 | 80L/min |
zui小真空 | 1 x 10-3 Torr |
真空測量范圍 | 大氣壓 ~ 5 x 10-5 Torr |
顯示 | 彩色觸摸屏，圖形化控制界面 |
操作員分級 | 2級操作人員分級 |
程序 | 可進行半自動控制和全自動編程控制 |
參數存儲 | zui大10組工藝參數儲存，每組工藝包含zui多10個工藝步驟 |
功能圖解
應用系統
PDMS芯片制作
石墨烯，2D材料表面處理
Bio-MEMS
組織工程
食品科學
