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儀器簡介：

應用：

◆半導體及相關領域。

技術參數：

E-Square公司致力于提供專業(yè)的電漿（Plasma）清洗解決方案，公司生產的常壓電漿清洗設備以其專業(yè)可靠的品質贏得了市場的一致認可。

主要特點：

◆無塵；

◆低溫處理(基板上升溫度:常溫~5℃)；

◆無傷害(與UV燈處理相同程度) ，已申請專利；

◆無靜電放電(處理后的ESD值為0~50V以內，由于正、負離子的產生，故處理前不需要負離子空氣凈化器裝置)；

◆2年內免維修(2年一次的點檢作業(yè))；

◆小型、重量輕；

◆裝置稼動率99.5%以上；

◆反應裝置的部分幾乎可**使用。