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型號規格：PDC－BGS

整機規格：600×550×1280（長×寬×高）mm整機重量：120 Kg

反應艙規格：Φ240×L340 mm (耐熱玻璃)

反應艙有效容積：15 L

輸入電源：380（三相）V／50Hz

整機輸入功率：2000 W（含真空泵）

射頻功率：0～400Ｗ（連續可調）

射頻頻率：13.56 MHz

數字定時器：0～99.99 min

極限真空度：50 Pa

二路浮子流量計：0.2～1.5 L／min 量程，方便二種氣體按比例混合

觀察窗： 觀察清洗艙內輝光狀態

常用工作氣體： 空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等

設備優點：

大容量清洗艙適合工業生產中批量樣品的清洗。

整機一體化、結構緊湊、安裝方便。

常溫條件下對樣品進行非破壞性超清洗。

徹底清除樣品表面的有機污染物。

氣體清洗介質使樣品清洗后無二次污染。

設備操作簡單方便，使用成本極低，易于維護。

具有表面清洗、表面活化、表面刻蝕和表面沉積的功能。

應用領域：

LED、LCD、PCB、微電子生產領域中的超清洗。

移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質，去除金屬材料表面的氧化物。

清洗半導體元件、印刷線路板、ATR元件、人工晶體、天然晶體和寶石。

封裝領域中的清洗和改性，增強其粘附性，適用于直接封裝殛粘和。

涂覆鍍膜領域中對玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面改性，使其活化，增強表面粘附性、浸潤性、相容性，顯著提高涂覆鍍膜質量。