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臺式小型機，PLC人機自動控制，簡單易用，適用于實驗室及小批量工業生產中材料表面清洗、蝕刻、活化等工藝。

提供三種功能配置：

1. 常規的等離子清洗和等離子刻蝕

2. 反應離子刻蝕（RIE）

3. 可轉換結構（包含可以進行各向同性和各向異性的等離子工藝）可拆卸的托盤構造。

等離子刻蝕機技術參數：

設備型號：PE-100

腔體尺寸：長方形腔體，長度305 x深度368 x高度305mm；

腔體材質：T-6鋁合金一體成型；

腔體容積：34升；

射頻電源：13.56MHz；0~300W自動調節；

工作壓力范圍：1-2000 mT；

氣體流量控制：0-50cc/min帶精密針閥；

皮拉尼真空計： 0-1Torr；