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BPL光束筆微影納米制造系統

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TERA Fab E系列是首臺商業化光束筆光刻(BPL)納米加工系統, 儀器使用多達兩萬支可獨立編程筆陣列, 每支筆尖都有相同尺寸小孔光闌來進行無掩膜光刻; 自定義軟件允許研究人員在0.5x0.4平方厘米區域內快速精確拼接不同圖形, 且特征尺寸分辨率優于200納米; 這個工具可以快速地制作電子和光學器件制造光刻掩模以及光化學研究桌面式操作上手容易, 無需無塵室; 更多應用及產品細節信息TERA中國區官方授權商:溢鑫科創。

典型的應用包括:

*研究單個細胞

*使用DNA、蛋白質、肽或碳水化合物陣列

*微流控或微納電子功能器件的制備

*圖案化水凝膠

*高定域光化學

*合成和發現用于催化、光子學或治療學應用的新納米材料

*其他高密集高分辨的微納米器件制造

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