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離子濺射儀

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溢鑫科創科技集團

英國

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產品介紹

英國Cressington高性能離子濺射儀系統是現階段配套掃描電鏡SEM,透射電鏡TEM和電子探針**的配套前級樣品導電處理系統以及均勻高質量的電極薄膜制備,溢鑫科創Yi Xin Technology是Cressington在中國**官方授權代表,全權負責此產品在國內產品銷售,售后服務,市場推廣和授權等工作。

Cressington 108 Auto/ ManualSPUTTER COATER

Cressington 108/108Auto離子濺射儀是用于電鏡樣品前處理,制作電極的***高質量的鍍膜儀系統

主要優勢功能:

  • 自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和**的導電噴鍍效果。

  • 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

  • 操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

  • 在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程??赏ㄟ^數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果。

  • 可配備MTM-10高分辨膜厚監控儀(選件)(分辨率優于0.1nm,-99.9nm到+999.9nm)

  • 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

  • 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,靶材更換快速方便。

技術規格:

樣品倉尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),高強度硼硅酸鹽玻璃

樣品臺:直徑63mm,可放置12個標準SEM樣品座,高度可在 60mm內調節

濺鍍優點:基于微處理器反饋控制,遠程電流/電壓感應;提供真空安全聯鎖裝置,**180A,配有過流保護

濺射控制:微處理器控制,安全互鎖,可調,**電流40mA,程序化數字控制

濺射頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩

模擬計量:真空 Atm - 0.01mb 電流: 0 - 200A

厚度監測器: MTM-10高精度厚度監測器(選配)

控制方式:自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫?!笨刂频臄底侄〞r器(0-300s),自動放氣

電源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括鍍碳機和真空系統)

氬氣: 純度優于99.9%,壓力調節0.5-0.6 bar, 6mm連接軟管

備注:為保證銷售渠道正規,配套方案先進及統一的市場管理和售后服務,英國cressington在各個國家都只設**授權代理,中國官方授權總代為:溢鑫科創Yi Xin Technology詳細信息請參考英國原廠官方網站信息。

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