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紫外高分辨率膜厚儀

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邁可諾技術有限公司

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產品介紹

FR-Basic VIS/NIR基礎型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)光譜范圍:350-1000nm

Α)鹵鎢光源系統Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強度。

小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm),分辨精度可達3648像素, 16位級 A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

光學連接器SMA 905, 光譜儀功率:110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz.

10mm厚度的氧化鋁面板,每英寸(25mm)間距,配有M6 (or ?”) 口徑鉆孔,用以安裝光學部件。

樣品放置臺,配有多點Z軸聚焦和X-Y軸移動調節。反射探針夾具調節范圍 (200mm – 200mm – 60mm),可在測試區域內精調節。

Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統,

可精確計算如下參數:

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態或動態模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫,可以有效地協助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經校準過的反射標準硅片;

b) 經校準過的帶有SiO2/Si 特征區域的樣片;

c) 經校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區域的樣片;

D) 反射光學探針

系統內嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm

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