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美國Filmetrics 光學膜厚測量儀 F60-C膜厚測量儀

自動化薄膜厚度分布圖案系統

F60-c 光學膜厚測量儀先進的薄膜光譜反射系統，可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及 n&k， 采用 r-θ 極坐標移動平臺，可以在幾秒鐘的時間內快速的定位所需測試的點并測試厚度， 可隨意選擇一種或極坐標形、 或方形、或線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測試點。 針對不同的晶圓尺寸，盒對盒系統可以很容易的自動轉換，匹配當前盒子的尺寸。 49點的分布圖測量只需耗時約 45秒。

可測樣品膜層

基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測量。例如

氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC

光刻膠 聚合物 聚亞酰胺

多晶硅 非晶硅 硅

免費現場演示/支持

點幾下鼠標就可以在網絡上在線看到現場演示！我們，我們的應用工程師會在電腦上為您演示薄膜測量是多么容易

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