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XTC/3薄膜鍍層控制儀

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英福康(廣州)真空儀器有限公司

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1323

產品介紹

簡介

先進,實用的單層和多層鍍膜速率控制

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3

裝備有ModeLock1**技術,提供驗證的模式跳躍防止功能,可達到始終如一的鍍膜質量. 使用XTC/3薄膜鍍層控制儀,可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度, 具有能控制幾乎任何膜層數量的能力,容易安裝,和極高的可靠性,可確保高的生產率.

特 點

■ 有單膜層和多膜層型號

■ ModeLock**技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差

■ 支持INFICON Crystal 12, CrystalSix®和雙傳感器自動晶體切換,用于**生產率

■ XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程, 999個膜層, 32個鍍層, 2個傳感器和兩個源

■ XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層, 2個傳感器和兩個源

■ 易閱讀的TFT LCD圖形顯示器

■ 為便于檢索,可指定獨特的和描述性的薄膜與過程名稱

■ 有以太網連接件

■ 單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows®軟件選件

■ INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換件(限于XTC/2功能和指令組)

應用:

集成電路執照

光學鍍膜

濺射鍍膜

薄膜太陽能電池制造

OLED制造

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XTC/3薄膜鍍層控制儀

英福康(廣州)真空儀器有限公司

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