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技術參數

Excel 661UM

Excel 661UC

測量范圍

650×680×150mm

儀器外觀尺寸

1311×1604×1608mm

凈重

1530kg

容量

100kg

床臺材料

花崗巖

途徑

獨特的X和Y單軌，單軌線性的z

電源要求

93-264VAC， 47-63Hz， 10Amp max.

X，Y軸精度

U=2.8+L/200μm

Z軸精度

U=2.8+L/100μm

X，Y軸加速度

1000mm/s2

Z軸加速度

500mm/s2

X，Y 速度

150mm/s2

光柵尺分辨率

0.1μm

輪廓光，同軸光，表面光

紅光LED技術（黑白機種使用）

白光LED技術（彩色機種使用）

光學鏡頭/倍率范圍

12*Opucal/2.5*Digital Programmable Zoom/15x～1200x on

計算機規格

1.2GHz，256MB RAM，Windows2000，CD-RW，Ethernet Card

工作環境

20℃(680F)±20，30-81% Humidity