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基本規格

Excel 664UM Excel 664UC

測量體積

650×680×400mm

外形尺寸

1311×1604×2088mm

重量

1500kg

容量

100kg

床臺材質

花崗巖

電源要求

93 - 264VAC，47 - 63Hz，10Amp

X，Y軸精度

U= 3.5 +L/150μm

Z軸精度

U= 3.8 +L/100μm

X，Y加速

1000mm/s2

Z加速

500mm/s2

X，Y速度

150mm/s2

光柵尺分辨率

0.1μm

輪廓光，同軸光，表面光

紅光LED技術（黑白機種使用）

白光LED技術（彩色機種使用）

光學鏡頭/倍率范圍

12 * Opucal/2.5 * Digital Programmable Zoom/15x-1200x

環境

20℃（680F）± 20，30-80％Humidity