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臺階儀

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上海瞬渺光電技術有限公司

日本

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產品介紹

品牌日本KOSAKA型號ET200
測量范圍Max. 600μm測量精度0.001
電源電壓AC100V±10%,用途測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損

KOSAKA LAB ET 200

微細形狀測定機(探針接觸式臺階儀

株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創立的公司,也是日本**家發表光學

幹槓桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商主要有測定/自動/流體三

大部門。其中測定部門為**代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位。

設備特點

KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析,包

括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器

件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精

度表面形貌分析應用。ET 200能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損

度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

ET 200配備了各種型號探針,提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD

原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。

規格

一、測定工件:

1.**工件尺寸:φ160mm

2.**工件厚?50mm

3.**工件重量:2kg

二、檢出器(pick up):

1. Z方向測定範圍:Max. 600μm

2. Z方向分解能:0.1nm

3.測定?min.1mgf,max.50mg

4.觸針半徑:2μm

5.驅動方式:直動式

6.再現性:1σ= 1nm

三、X(基準軸)

1.移動量(**測長)100mm

2.移動的真直?0.2μm/100mm

3.移動測定速?0.02 ~ 10mm/s

4.線性尺(linar scale):分解能0.1μm

四、Z軸:

1.移動量:50mm

2.移動速度:max.2mm/S

3.檢出器自動停止機能

4.位置決定分解能:0.2μm

五、工件臺:

1.工件臺尺寸:φ160mm

2.機械手動傾斜:±1mm/150mm

?、工件觀察:max.110(可選購其它高倍?CCD)

七、床臺:材質為花崗巖石

八、防振臺(選購)?地型或桌上型

九、電源:AC100V±10%,

50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量:

W494×D458×H610mm, 120kg

(?含防震臺)

KOSAKA LAB ET 200 臺階儀設備特點: KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)****接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET 200能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

ET 200配備了各種型號****,提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到****工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。

規格 一、測定工件:

1. **工件尺寸:φ160mm

2. **工件厚度:50mm

3. **工件重量:2kg

二、檢出器(pick up):

1. Z方向測定範圍:Max. 600μm

2. Z方向分解能:0.1nm

3. 測定力:min.1mgf,max.50mg

4. 觸針半徑:2 μm

5. 驅動方式:直動式

6. 再現性:1σ= 1nm

三、X 軸 (基準軸):

1. 移動量(**測長):100mm

2. 移動的真直度:0.2μm/100mm

3. 移動,測定速度:0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm

四、Z軸:

1. 移動量:50mm

2. 移動速度:max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機能

4. 位置決定分解能:0.2μm

五、工件臺:

1. 工件臺尺寸:φ160mm

2. 機械手動傾斜: ± 1mm/150mm

六、工件觀察:max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)

七、床臺:材質為花崗巖石

八、防振臺(選購):落地型或桌上型

九、電源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量: W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震臺)

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